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ANASYS纳米红外光谱仪FT-IR nano-IR技术解析

产品概述

ANASYS nano-IR是全球首款原子力显微镜-红外联用（AFM-IR）系统，突破传统红外光谱衍射极限，实现<10 nm空间分辨率的化学组分分析。该设备通过光热诱导共振（PTIR）技术，将傅里叶变换红外光谱（FT-IR）与原子力显微镜结合，广泛应用于材料科学、半导体、生物医药等纳米尺度表征领域。

核心技术突破

1. 超高空间分辨率

   • 采用量子级联激光（QCL）光源，红外光谱范围覆盖900-3600 cm⁻¹，空间分辨率达5-10 nm（较传统FT-IR提升100倍）
   • 独创"共振增强"检测模式，灵敏度比常规AFM-IR提高3个数量级

2. 多模态联用技术

   • 同步获取化学图谱（红外）、形貌图（AFM）和力学性能（纳米力学映射）
   • 可选配拉曼模块（TERS）实现同点位拉曼-红外关联分析

3. 智能分析系统

   • 内置Anasys NanoIR Analysis Suite软件，支持：
     ✓ 纳米级化学官能团成像（如聚合物共混物相分布）
     ✓ 超薄薄膜厚度测量（精度±1 nm）
     ✓ 自动峰位识别与数据库比对（含Hummel标准谱库）

典型应用场景

• 半导体缺陷分析：定位28nm制程芯片的有机污染物（如光刻胶残留）
• 生物单细胞研究：解析线粒体膜脂质分布（需搭配低温样品台）
• 高分子材料：绘制共聚物微区化学组成（如PMMA/PS相分离结构）

行业标杆地位

ANASYS nano-IR已获NASA、IMEC、中科院等顶级机构采用，其技术被引用于800+高水平论文。相比同类产品（如Bruker nanoFTIR），其QCL光源稳定性和多模态数据融合能力保持领先，2023年升级的第三代系统更将检测限推进至单分子水平。

注：设备需在恒温恒湿实验室运行（温度波动<±1°C，湿度<40%），建议搭配防震台使用。