在当前快速发展的半导体行业中，随着制程技术的不断进步，对检测技术的要求也日益提升。晶片制程的微小误差可能会导致芯片性能的显著下降，甚至完全失效。

在这样的背景下，分析仪器领域的先锋——珀金埃尔默，凭借其深厚的技术底蕴和敏锐的行业洞察，正成为半导体检测的重要支撑力量。从无机光谱质谱到有机色谱质谱，再到分子光谱与材料表征，珀金埃尔默的产品线覆盖了半导体检测的方方面面。

精准揪出杂质

2025 年 4 月，珀金埃尔默推出了 NexION5000 ICP - MS。这款仪器堪称半导体行业检测的 “原子级显微镜”，在半导体检测领域具有里程碑意义。

NexION5000 ICP - MS 的分析能力十分卓越。它能够检测到极低浓度的金属杂质，检测水平达到 ppt（万亿分之一）和 ppq（千亿分之一）级别。如此高的检测精度，彻底改变了芯片质量控制的现状。在芯片制造过程中，质量控制至关重要，而该仪器为其提供了强大的技术支持，极大提升了芯片质量把控的标准。

这款仪器具有很强的适用性，特别适合对硅晶圆及半导体级化学品进行精密检测。在半导体制造的各个环节，它都能提供极致的检测数据。从原材料的检测，到生产过程中的质量监控，再到成品的最终检验，NexION5000 ICP - MS 都能发挥重要作用，确保每一个环节的产品质量符合要求。

在半导体生产中，晶圆表面的金属杂质是影响芯片质量的关键因素。NexION5000 采用了全自动晶圆表面气相分解技术，能准确分析极低浓度的金属杂质。该技术相较于传统的 X 射线荧光法有显著优势。它不仅提高了元素覆盖范围和检测能力，还能有效解决硅氧化物沉积所导致的信号漂移问题。

信号漂移问题在传统检测方法中较为常见，会影响检测结果的准确性。而 NexION5000 ICP - MS 凭借其先进技术克服了这一难题，保证了检测数据的可靠性。

百年创新之路

事实上，早在 1944 年，珀金埃尔默就迈出了重要一步，推出第一台商用红外光谱仪（IR）。这一创举为分子光谱学的实际应用打开了大门，使分子光谱学从理论研究走向实际应用成为可能。它让科研人员和相关行业能够借助这一仪器，更深入地了解分子结构和特性，为后续的科学研究和工业生产奠定了基础。

进入 50 年代，气相色谱技术开始受到关注。1955 年，珀金埃尔默推出第一台商用气相色谱仪（GC），这使得气相色谱技术得以在实际中广泛应用。1957 年，又推出第一个毛细管柱，进一步提升了气相色谱仪的性能。毛细管柱的出现，提高了分离效率和分析速度，让气相色谱技术在分析化学领域发挥更大作用。

1963 年，珀金埃尔默再次拓宽分析仪器边界，推出第一台商用差示扫描量热仪（DSC）。该仪器可用于测量物质在程序控制温度下的热流与温度关系，在材料科学、化学等领域有重要应用。随后在 1970 年和 1972 年，分别推出商用石墨炉原子吸收光谱仪（AA）和具备梯度功能的液相色谱仪（LC），不断丰富分析仪器产品线。

真正让珀金埃尔默在分析领域奠定行业领导地位的，是其在 ICP - MS（电感耦合等离子体质谱）技术上的持续创新。1983 年，推出全球第一台商用 ICP - MS Elan 250，改变微量金属元素检测方式；1993 年，推出首台面向化学分析设计固体检测器的 ICP - OES；1999 年，首创动态反应池（DRC）ICP - MS，抑制多原子离子干扰，拓宽应用场景。

真正的技术进步并非依赖某一次惊艳的发布会，而是源于对问题本质的日复一日深耕与改进。珀金埃尔默凭借长期的坚持与积累，不断推出创新产品和技术。在如今半导体等高端产业对 “极致纯净” 有极高需求的情况下，它依旧走在行业最前列，持续为各领域提供先进的分析仪器和解决方案。

赋能中国发展

对于中国市场，珀金埃尔默展现出深耕的坚定决心。早在 1978 年，中国开启改革开放的征程，珀金埃尔默便敏锐地抓住机遇进入中国。这一决策，让它成为见证并参与中国经济快速发展、科技不断进步的重要一员。

在过去 40 多年里，珀金埃尔默在中国实现了巨大的转变。最初，它只是单纯的设备供应商，为中国市场提供各类分析检测设备。随着时间的推移，它不断加大在中国的投入，逐步建立起研发、生产、销售和服务的全链条体系，成长为本地化企业。这一转变体现了其对中国市场的重视，也反映出它适应中国市场需求、不断发展壮大的过程。

在中国的各个领域，都能看到珀金埃尔默的身影。无论是实验室还是半导体制造工厂（FAB），它的设备和服务都得到了广泛应用。在实验室中，其先进的仪器帮助科研人员进行各种分析检测，推动科研工作的进展；在半导体制造工厂，它的设备为芯片制造过程中的质量控制提供了有力保障。

珀金埃尔默为中国用户提供全面的解决方案。从仪器的供应，到耗材的配备，再到技术支持，它都能满足用户的需求。用户在使用其仪器的过程中，如果遇到问题，能够及时得到专业的技术支持，确保仪器的正常运行和检测结果的准确性。

这种全面的解决方案和全链条的服务体系，使珀金埃尔默在中国市场赢得了良好的口碑和广泛的认可。它在中国市场的深耕，不仅为自身带来了发展机遇，也为中国的科研、工业等领域的发展做出了贡献。